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在半導體芯片制造過(guò)程中,由于各種因素導致的芯片表面或內部通道形成芯片流道臟污。這些污染可能包括但不限于:
在半導體行業(yè)中,晶圓在進(jìn)行工藝前后會(huì )進(jìn)行字符的視覺(jué)檢測,用于產(chǎn)品信息入庫記錄標識,但與傳統方式產(chǎn)生的油墨、單點(diǎn)字符不一樣,雕刻的字符采用的是半導體行業(yè)專(zhuān)用的Semidouble-雙密度點(diǎn)陣特殊字體,使用傳統視覺(jué)方式進(jìn)行定位及識別穩定性較差,很容易出現字符識別錯誤及漏檢。
機器視覺(jué)檢測孔位缺陷及計數
3D相機在小型零件檢測中的效果是非常顯著(zhù)的,具體優(yōu)勢如下:
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