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晶圓視覺(jué)檢測是半導體制造過(guò)程中的關(guān)鍵環(huán)節,它能夠確保晶圓的良品率和生產(chǎn)效率。目前,機器視覺(jué)算法結合晶圓缺陷檢測方法因其普適性強、速度快而廣泛應用于工業(yè)檢測中。
康耐德視覺(jué)檢測系統可以高效識別晶圓表面缺陷并分類(lèi)、標記,輔助晶片分揀。能夠通過(guò)視覺(jué)對位系統、視覺(jué)定位、視覺(jué)檢測等技術(shù),提供了高精度的視覺(jué)檢測解決方案。
康耐德晶圓表面缺陷檢測系統主要檢測晶圓外觀(guān)的損傷、毛刺等缺陷,具體應用有:
表面破損
檢測晶圓表面破損進(jìn)行識別,計算破損面積及定位
2.晶圓序列碼讀取
檢測晶元邊緣的序列碼,抓取序列碼的清晰輪廓并且能夠識別
康耐德智能針對晶圓表面缺陷的視覺(jué)檢測研究也在不斷深入,使用灰度模板匹配算法提取晶圓上的晶粒圖像,以及基于深度學(xué)習模型對晶圓上復雜的劃痕、污染缺陷進(jìn)行目標檢測。
通過(guò)深度學(xué)習算法不斷優(yōu)化識別效果,結合工業(yè)相機、機械手臂、自動(dòng)化產(chǎn)線(xiàn)等設備,為客戶(hù)提供多相機成像解決方案,可以應用于半導體封測設備、半導體晶圓貼片機和鍵合設備中。這些技術(shù)的應用,不僅提高了晶圓檢測的精度,也推動(dòng)了半導體制造技術(shù)的發(fā)展。
康耐德智能表面粗糙度測量機器視覺(jué)AOI系統是一種基于機器視覺(jué)技術(shù)的高精度檢測設備,專(zhuān)門(mén)用于測量物體表面的粗糙度。該系統通過(guò)高分辨率攝像頭捕捉圖像,并利用先進(jìn)的圖像處理和深度學(xué)習算法,實(shí)現對表面粗糙度的快速、準確測量。以下是該系統的功能特點(diǎn)、技術(shù)優(yōu)勢和應用場(chǎng)景的詳細介紹:
康耐德智能幾何測量機器視覺(jué)AOI系統是一種基于機器視覺(jué)技術(shù)的高精度檢測設備,專(zhuān)門(mén)用于測量物體的幾何特征,如長(cháng)度、寬度、直徑、角度、圓度、直線(xiàn)度等。該系統通過(guò)高分辨率攝像頭捕捉圖像,并利用先進(jìn)的圖像處理和深度學(xué)習算法,實(shí)現對幾何特征的快速、準確測量。以下是該系統的功能特點(diǎn)、技術(shù)優(yōu)勢和應用場(chǎng)景的詳細介紹:
康耐德智能運動(dòng)目標追蹤機器視覺(jué)AOI系統是一種基于機器視覺(jué)技術(shù)的自動(dòng)化光學(xué)檢測設備,專(zhuān)門(mén)用于追蹤和檢測生產(chǎn)線(xiàn)上運動(dòng)目標的位置、速度和軌跡。該系統通過(guò)高分辨率攝像頭捕捉圖像,并利用先進(jìn)的圖像處理和深度學(xué)習算法,實(shí)現對運動(dòng)目標的快速、準確追蹤和分析。以下是該系統的功能特點(diǎn)、技術(shù)優(yōu)勢和應用場(chǎng)景的詳細介紹:
康耐德智能物體位置定位機器視覺(jué)AOI系統是一種基于機器視覺(jué)技術(shù)的自動(dòng)化光學(xué)檢測設備,專(zhuān)門(mén)用于精確定位生產(chǎn)線(xiàn)上物體的位置。該系統通過(guò)高分辨率攝像頭捕捉圖像,并利用先進(jìn)的圖像處理和深度學(xué)習算法,實(shí)現對物體的快速、準確位置檢測和定位引導。以下是該系統的功能特點(diǎn)、技術(shù)優(yōu)勢和應用場(chǎng)景的詳細介紹:
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